在真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空滤油、多晶硅生产等领域广泛使用。
罗茨滑阀真空机组由罗茨真空泵与滑阀真空泵串联组成，滑阀真空系统作为预抽真空泵以及罗茨真空泵的前级真空泵使用，罗茨真空泵作为主抽真空泵。